松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1
規(guī)格
種類 LED式反射型
型號 M-DW1
中心測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
輸出 NPN輸出/PNP輸出 可由切換開關(guān)選擇 <NPN輸出>
NPN開路集電極晶體管
?較大流入電流:100mA
?外加電壓:30V DC以下(輸出和0V之間)
?剩余電壓:1V以下(流入電流為100mA時)
0.4V以下(流入電流為16mA時)
<PNP輸出>
PNP開路集電極晶體管
?較大源電流:100mA
?外加電壓:30V DC以下(輸出和+V之間)
?剩余電壓:1V以下(源電流為100mA時)
0.4V以下(源電流為16mA時)
輸出動作 可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護 裝備(自動復(fù)位)
反應(yīng)時間 500μs以下
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)
定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
投光停止輸入 信號條件
?投光停止:斷開或4?8V
?投光:0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度切換輸入 信號條件
?輸入OFF:斷開或4?8V
?輸入ON :0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo):按本體靈敏度設(shè)定按鈕運行
檢測靈敏度切換:本體開關(guān)2bit、4級或外部輸入的2級選擇式
松下晶圓定位傳感器訂貨方式M-DW1
021-39526589
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地 址:上海市嘉定區(qū)嘉涌路99弄
6號樓713室